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超纯水设备系统在半导体晶片制造过程中重起到至关重要的作用。在一个生产周期内，一个晶片与超纯水的接触超过35次，在任何一个环节发生供水中断或者水质不合格都会影响晶片的质量，甚至导致产品的报废。水处理之家网认为，稳定可靠的超纯水设备系统是**半导体晶片可持续生产的关键。
一、半导体晶片超纯水设备系统简介
本方案以半导体晶片生产用超纯水设备系统为案例，详细讲解205T/H的超大型超纯水设备系统设计特点、工艺流程、超纯水供水网管设计等。
对于原水中的各种杂质，可以选用的去除方式多种多样，每一种净化设备基于不同的净化原理，对各种杂质的去除效率各不相同，甚至某些设备在去除特定杂质的同时会引起其他杂质数值的上升。超纯水设备系统设计的过程就是在满足水质要求的前提下寻找一个投资与操作优化的净化设备组合方案的过程。不同净化设备对各种杂质的去除效率。对超纯水水质的指标要求：
二、半导体晶片超纯水设备系统设计特点
典型的超纯水设备系统流程可分为部分：预处理、初级制水、精制水。在全球水资源日益匮乏的今日，超纯水的回收再利用已经成为超纯水设备系统设计必不可缺的一部分。一般而言，经工艺机台使用的超纯水除了PH值，电导率，TOC等指标较差外，大部分指标都优于市政供水，只要有针对性地设计一些净化设备，完全可以将超过70％的超纯水供水回收再利用，达到节水环保的目的。当然，回收率越高，其设备投资及操作运行成本也越高。本系统的流程设计充分考虑到工程水质要求高，水量超过250吨小时的特点，各部分的设计兼顾经济性和可操作性，巧妙地将超纯水回收利用系统融合于制备系统。
三、半导体晶片超纯水设备系统工艺流程
自来水—加药—多介质过滤器—常压脱气塔—换热器—10μm过滤器—一级反渗透 —预处理水箱—活性炭过滤器—离子交换器—去离子水箱—紫外线杀菌灯—1μm过滤器—二级反渗透—中间水箱—去有机物紫外线—混床—0.45μm过滤器—膜脱气装置—纯水设备—冷却箱—去有机物紫外线—抛光床—超滤系统—输送管网—用水点
四、半导体晶片超纯水设备系统设计方案
预处理：
1.PAC、NaCl0加药：絮凝剂PAC有助于原水中的胶体粒子和悬浮固体凝集成易被多介质过滤器的大基团，而NaCl0具有杀菌，分解有机物的作用。
2.多介质过滤器：去除原水中经絮凝的胶体粒子和悬浮固体，可通过反冲洗再生。H，S0 加药，常压脱气塔：加H，S0 可将原水中的HC0 一生成C02在常压脱气塔中脱除，常压脱气塔是针对本工程大水量的特点而设计的，可以提高真空膜脱气的除氧效率，减少昂贵的脱气膜组的使用量。
3.热交换器：在冬季原水水温较低时使用热交换器加热反渗透进水以提高反渗透系统的除盐率，保证出水水质。
4.10 u m预过滤器：过滤颗粒杂质，保护反渗透膜。
5.一级反渗透：反渗透对除了溶解气体以外的大部分杂质都有较好的脱除效果。不同材质的反渗透膜操作条件不同，脱除杂质的效率也不同。醋酸纤维(CA)膜。醋酸纤维(CA)膜脱除率比复合(TFC)膜低，本设计用于一级反渗透，作为预处理阶段去除大量离子等杂质之用。反渗透膜需定期加药清洗以去除表面污染及结垢，保证反渗透效率并延长膜的寿命。
6.预处理水箱：储存一级反渗透产水，收集工艺机台使用过的回收纯水。
7.活性炭过滤器：表面具有无数10—10 A微孔的活性炭吸附预处理水尤其是回收纯水中的有机物，并通过反冲洗再生。
8.离子交换塔：离子交换塔包括阳离子树脂床和阴离子树脂床，主要为去除回收纯水中的各种阴阳离子，降低电导率而设计，同时可进一步纯化预处理水，保证水质离子交换树脂定时用酸碱再生后可反复使用。
初级制水：
1.去离子水箱：储存去离子水，调节和平衡预处理系统和初级制水系统的运行。
2.紫外线杀菌：波长254nm的紫外线灯可达到杀菌的作用。
3.1um过滤器：过滤颗粒杂质，保护反渗透膜。
4.二级反渗透： 采用复合(TFC)膜的二级反渗透可去除高达95％ 以上的各种离子和有机物。
5.中间水箱：储存二级反渗透产水，充普通氮气，隔绝空气，以保护水质不受污染。
6.去有机物紫外线： 波长1 85mm 的紫外线灯可分解有机物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于离子交换塔中阴阳离子树脂，混床中使用的树脂可以在较低的离子浓度下获得很好的脱除效率，混床出水电阻率已达1 7M Q．cm以上，接近超纯水电阻率要求。
8.0.45um过滤器：去除去离子水中的颗粒杂质，并捕捉水中可能带出的破碎的混床树脂微粒，以保护膜脱气装置的脱气膜不受损害。
9.膜脱气装置：加真空氮气吹扫的膜脱气装置可保证产水中溶氧达到小于lppb的要求，与早期的真空氮气吹扫的填料塔相比，具有脱气率高，占空间小，节省氮气的优点。

产品介绍
中水回用，是解决城市水资源的重要途径，也是协调城市水资源与水环境的根本出路，生活污水处理回用，既能减小对地下水的开采，又能给我们带来一定的经济效益。中水是指各种排水经处理后，达到规定的水质标准，可在生活、市政、环境等范围内杂用的非饮用水。因为它的水质指标低于生活饮用水的水质标准，但又高于允许排放的污水的水质标准，处于二者之间，所以叫做“中水”。
水处理设备10吨中水回用设备适用范围：学校、工厂、小区等人口相对集中的生活区域。
工艺设计
建筑物中的生活污水经分流管道收集后，先经过预处理：格栅+调节池，隔除悬浮固体物质。经过生化处理之后，废水经滗水器进入中间池，然后经过物理过滤消毒后进入清水池留待回用。
中水回用设备工艺流程.png
设备特点
1、耐冲击负荷能力强，净化效率高，系统运行稳定，处理过程无气味；
2、处理流程简单，可实现构筑物一体化，可无人职守；
3、无需污泥驯化，挂膜容易，脱膜快，微生物生长快，启动时间短；
4、占地面积小，投资省，运行费用低；
5、污泥消耗率高，产泥量小。

贵州水处理设备，纯净水设备设计原理
纯净水设备是矿泉水厂中不可缺少的装置，它的优点在于可根据不同地区的水质进行设计不同的生产工艺使出水水质达到统一国家标准。
纯净水设备工艺说明
如果原水水质硬度高，需采用纳滤与中空纤维超滤作为主要工艺，进行水质的净化与水软化。通过中空超滤，对水质进行净化处理;再通过纳滤，去除水中较硬的矿物质。同时采用臭氧杀菌，辅以钛棒过滤器，使得出水水质符合矿泉水《GB8537-95》的规定。
如果原水水质较好，原水中矿物质成份比较简单的矿泉水，采用两级精密过滤器，臭氧灭菌和中空纤维超滤器的成熟工艺。使得终出水水质符合国标《GB8537-95》标准。
纯净水设备主要特点
1.自动模块设计控制，流程清晰明了，操作简单方便，易于维护保养
2.能够使二级浓水回流，节电节水，降低运作成本
3.吸附过滤器，吸附流程长，所产纯水稳定、符合国标
4.采用多级离心泵，动力持久，确保无障碍长期运行
5.选用UF系统程序自动控制器，自动定时冲洗，延长UF纳滤膜使用寿命
由于纯净水设备原水一般采用地下水，山泉水，井水等，它们富有的矿物质要比自来水矿物质含量高，我国目前大多井水及地下水中铁锰含量较高，因此可在纯净水设备预处理工艺中添加铁锰过滤器，将水中对人们身体有害的铁锰物质完全去除。

量型：流量达到设定值时开始还原，适用于所有系统供水。软化水设备,锅炉软化水设备
微电脑型：将水质资料输入微电脑．可自动设置各程序的时间。如配用中央控制器，可实现远程控制，适用于自动化程度较高的楼宇自控等系统供水。
参数和使用要求：原水硬度：3-10mg-N／L(1mg-N／L=2.8德国度=50mg／LCaCO3硬度)，如原水硬度高于10mg-N／L,选型时加大一个型号或采用二级软化。
●出水口硬度：≤0.03mg-N／L
●水压：0.2-0.6Mpa
●工作温度：2-50℃
●自控电源：220V，50Hz
●耗电量：<10W
●盐耗：<100克／克当量
全自动软化控制方式 　
A、 由一个交换罐、一个控制阀和一个盐箱组成。再生控制方式分为时间型和流量型，再生时需停止产水2小时，适用于间歇供水场合，若需连续供水，可配置一个储存2小时水量的水箱。
B、由一个控制阀控制两台交换罐交替供水，交替再生，实现不间断供水，适用于连续供水的场合，再生方式为流量型。
C、由两个控制阀，两个交换罐和一个盐箱组成，两套罐交替供水．交替再生．连续供水．再生控制方式为流量型。
D、由两个控制阀、两个交换罐、两个盐箱组成，两套罐同时供水，交替再生，连续供水，再生控制方式为流量型。软化水设备产品结构：
1. 进口控制阀：阀体材质为高强度轻质耐腐蚀工程塑料、无铅黄铜。软化水设备,锅炉软化水设备,全自动软化水设备
2. 抗腐蚀罐体：罐体材质为玻璃钢（可选用碳钢或不锈钢衬塑罐体），罐体防腐、耐压，使用寿命长。
3. 均匀布水系统：采用射流式布水，树脂有效交换容量得以充分发挥，用盐控制，无须盐泵。
4. 进口高性能树脂：选用强酸性阳离子交换树脂，破损率低，粒度均匀，提高离子交换率。
软化水设备工作程序：
1. 供水：未处理的水通过树脂层，发生交换反应，产生软水。
2. 反洗：水从树脂层下部进入，松动树脂，去除细碎杂物。
3. 进盐水再生：利用较高浓度的盐水（Nacl）流过树脂，将失效树脂重新还原为钠型可用树脂。
4. 冲洗：按照供水时的流程使水通过树脂冲洗掉多余的盐液和再生交换下来的钙、镁离子。
5. 注水：向盐箱内注水，溶解食盐，以备下次再生所用。
软化水设备性能特点：
1. ：软水器整体设计配套合理，使树脂的有效工作交换容量得以充分发挥。
2. 省工：自动化程度高，无需设专人值守。
3. 省水：软水器制水率达98%以上。
4. 省电：采用虹吸再生原理，无需盐泵，耗电量仅相当于手动软水设备的1%。
5. 占地空间小：只需提供树脂罐和盐罐的占地空间，节省管路、盐泵所占空间。
6. 调整方便：用户可根据实际需要，自行调整再生周期和再生时间。
7. 运行费用低：由于自动化程度高，软水器能适应水量变化，地计量产水量、计量再生剂的用量，避免了再生时再生剂无辜的浪费，同时可节省大量的人工费。 
软化水装置安装要求：
1. 地基需水平，就近设置地漏或排水沟，以排走再生废水。设备附近应设立的电源插座。
2. 盐箱应靠近交换罐，吸盐管越短越好。
3. 进水管上应安装上Y型过滤器以及水表，出水口应设取样口。
4. 进出水管上应安装手动阀门，进出水口之间应设旁通阀，以便在再生或检修时继续供水。软化水设备,锅炉软化水设备,全自动软化水设备
三、应用范围：系列全自动软水器：可广泛应用于蒸汽锅炉、热水锅炉、交换器、蒸发冷凝器、空调、直燃机等系统的补给水的软化。还可用于宾馆、饭店、写字楼、公寓等生活用水的处理及食品、饮料、酿酒、洗衣、印染、化工、医药等行业的软化水处理。目前已广泛应用于各种蒸汽锅炉、热水锅炉、热交换器、蒸汽冷凝器、空调、直燃机等设备及系统的循环补给水中。此外还用作生活水处理，食品、电镀、医药、化工、印染、纺织、电子等工业水处理以及作为脱盐系统的前置处理。
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